农机深松整地作业的补贴程序包括资金补贴和技术支持两个方面。资金补贴是指农业部门向符合条件的农民提供一定比例的作业费用补贴。这些补贴资金可以用于购买或租赁农机具，以实施深松整地作业。此外，农业部门还会提供技术支持，包括培训农民使用农机具的操作技巧和维修保养知识，以确保农机的正常运转和延长使用寿命。
农机深松整地作业的补贴程序需要农民提供相应的申请材料。一般来说，农民需要提交相关证明材料，包括土地使用权证、农机购置或租赁合同、农机使用登记证等。此外，农民还需要填写补贴申请表格，并附上相关的农田深松整地作业计划和预算。这些材料将用于评估农民的资格和作业需求，以确定补贴金额和补贴范围。
农机深松整地作业的补贴程序还需要建立完善的监督和评估机制。农业部门将通过定期检查和验收来确保补贴资金的正确使用和农机作业的效果。同时，农业部门还将根据实际情况进行评估，及时调整补贴政策和标准，以适应农业生产的发展需求。